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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2005-07-30

Journal:中国机械工程

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:16

Issue:14

Page Number:1269-1272

ISSN No.:1004-132X

Key Words:电热微夹钳;有限元;数值模拟;多晶硅

Abstract:介绍了一种新型多晶硅电热微夹钳,该夹钳在V形电热微驱动器的作用下,能够产生近似线性的位移和产生较大的夹持力.在全面考虑了空气对流、辐射、热传导及材料特性等各种因素的情况下,建立了该电热微夹钳的有限元模型,利用该模型分别进行了稳态和瞬态的仿真分析,模拟出输出位移和温度场随电压的变化情况,以及电热微夹钳的热响应时间.对仿真的结果进行了讨论.