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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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Ni薄膜热敏电阻的研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2004-08-01
页面范围：308-309
关键字：热敏电阻;Ni薄膜;电子探针微分析(EPMA);薄膜式温度传感器
摘要：采用磁控溅射方法制备Ni薄膜热敏电阻,其电阻温度系数(TCR)为5.7×10<'-3>/C.对Ni电阻薄膜表面和横截面进行了电子探针微分析(EPMA),得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线,并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析.