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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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Ni-SiC复合电铸层内应力实验研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2017-08-20
发表刊物：电加工与模具
期号：4
页面范围：38-42
ISSN号：1009-279X
关键字：电铸层内应力;SiC颗粒;复合电铸;正交试验
摘要：提出通过掺杂SiC颗粒来减小Ni微电铸层内应力的新方法,基于UV-LIGA工艺制作了纯镍电铸层和Ni-SiC复合电铸层,采用X射线衍射法测量微电铸层的内应力,分析SiC颗粒对微电铸层内应力的影响效果.利用L9(34)正交试验考查了铸液中SiC浓度、电流密度、搅拌转速及电铸温度等工艺参数对复合电铸层内应力的影响.结果表明:掺杂SiC颗粒能有效减小微电铸层内应力,电流密度和铸液中SiC浓度对内应力的影响大于搅拌转速和电铸温度.复合电铸层内应力实验的最优工艺参数为:SiC浓度20 g/L,电流密度1 A/dm2,磁力搅拌转速600 r/min,电铸温度50℃.