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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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Reduction of internal stress in SU-8 photoresist layer by ultrasonic treatment
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论文类型：期刊论文
发表时间：2010-11-09
发表刊物：SCIENCE CHINA - TECHNOLOGICAL SCIENCES
收录刊物：SCI、EI
卷号：55
期号：11
页面范围：3006-3013
备注：JCR二区，IF：1.441（2015）