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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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Fabrication of novel MEMS inertial switch with six layers on a metal substrate
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2015-09-01
发表刊物：Microsystem Technologies
收录刊物：SCI、EI
卷号：21
期号：9
页面范围：2025-2032