大连理工大学主页平台管理系统杜立群--中文主页-- 跨尺度、高深宽比惯性微开关制作工艺研究

论文成果

跨尺度、高深宽比惯性微开关制作工艺研究

上一条：金属基底上三维可动微机构的制作

下一条： Effectiveness of stress release geometries on reducing residual stress in electroforming metal microstructure

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