|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
扫描关注
金属薄膜加热器的研究
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2004-12-26
发表刊物：传感技术学报
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号：17
期号：4
页面范围：615-618
ISSN号：1004-1699
关键字：微型加热器;TCR;Cr和Ni-Cr薄膜;PCR生物芯片;微流量传感器
摘要：采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80%,Cr:20%)金属薄膜,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响.在一定直流电压条件下,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到100℃,且升温速率皆大于0.50C/s.通过测量微加热器的电阻温度曲线,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求.