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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究
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发表时间：2022-10-09
发表刊物：光学精密工程
所属单位：机械工程学院
期号：4
页面范围：447-452
ISSN号：1004-924X