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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:女
毕业院校:东北大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点:西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱:duliqun@dlut.edu.cn
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SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究
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论文类型:期刊论文
发表时间:2007-04-15
发表刊物:光学精密工程
收录刊物:EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号:15
期号:4
页面范围:447-452
ISSN号:1004-924X
关键字:SU-8胶;菲涅耳衍射;紫外光刻;尺寸精度;MATLAB
摘要:研究了衍射效应对SU-8胶紫外光刻尺寸精度的影响.根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型,预测微结构的尺寸,分析了光刻参数变化对尺寸的影响.为了更好地与数值模拟结果进行比较,以硅为基底,进行了SU-8胶紫外光刻的实验研究.实验分四组,实验中掩模的特征宽度分别取50 μm、100 μm、200 μm和400 μm,SU-8胶表面的曝光剂量取400 mJ/cm2.用扫描电镜测量了微结构的顶部线宽、底部线宽和SU-8胶的厚度,用MATLAB软件对紫外曝光过程中SU-8胶层内曝光剂量的分布情况进行了数值模拟,数值模拟结果与实验结果基本吻合.数值模拟结果为进一步的实验研究提供了光刻参数的参考值.