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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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金属表面微坑阵列掩膜电化学刻蚀技术研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2015-04-20
发表刊物：电加工与模具
收录刊物：ISTIC
期号：2
页面范围：29-32,37
ISSN号：1009-279X
关键字：UV-LIGA;微坑阵列;电化学刻蚀;酸洗
摘要：采用负胶光刻工艺制备了微坑阵列胶模，通过实验分析了抛光工艺对刻蚀均匀性的影响，解决了微坑阵列刻蚀缺陷的问题。研究了酸洗对基板刻蚀的影响，得出酸洗可改善刻蚀均匀性的结论，并通过调节溶液pH值的方法解决了溶液沉淀的问题。分析了掩膜孔径对刻蚀均匀性的影响，并利用自行搭建的电化学刻蚀装置完成了直径60μm、深11μm的微坑阵列刻蚀。实验结果验证了掩膜电化学刻蚀工艺的可行性，为金属表面微小图形的制作提供了一种可行的方案。