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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟
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论文类型：期刊论文
发表时间：2005-06-15
发表刊物：微纳电子技术
卷号：42
期号：6
页面范围：284-287
ISSN号：1671-4776
关键字：各向异性腐蚀;MEMS加工工艺;计算机模拟;OpenGL三维技术
摘要：根据单晶硅各向异性腐蚀的特点,以晶格内部原子键密度为主要因素,温度、腐蚀液浓度等环境因素为校正因子,建立了一个新颖的硅各向异性腐蚀的计算机模拟模型.在VC++开发环境下利用OpenGL技术,实现了硅各向异性腐蚀过程的三维微观动态模拟,为深刻理解硅的各向异性腐蚀过程提供了直观的界面.