杜立群

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:女

毕业院校:东北大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程

办公地点:西部校区机械学院新大楼6009房间

电子邮箱:duliqun@dlut.edu.cn

扫描关注

论文成果

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟

点击次数:

论文类型:期刊论文

发表时间:2005-06-15

发表刊物:微纳电子技术

卷号:42

期号:6

页面范围:284-287

ISSN号:1671-4776

关键字:各向异性腐蚀;MEMS加工工艺;计算机模拟;OpenGL三维技术

摘要:根据单晶硅各向异性腐蚀的特点,以晶格内部原子键密度为主要因素,温度、腐蚀液浓度等环境因素为校正因子,建立了一个新颖的硅各向异性腐蚀的计算机模拟模型.在VC++开发环境下利用OpenGL技术,实现了硅各向异性腐蚀过程的三维微观动态模拟,为深刻理解硅的各向异性腐蚀过程提供了直观的界面.