|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
扫描关注
硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2003-08-25
发表刊物：微纳电子技术
卷号：40
期号：7
页面范围：332-334,337
ISSN号：1671-4776
关键字：聚合酶链式反应;生物芯片;微型加热器;温度传感器
摘要：采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔,并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器,分析了微型加热器和温度传感器的特性,并给出扫描电子显微镜照片.实验证明Ni比较适合做温度传感器,NiCr是较好的微型加热器材料,能够满足PCR生物芯片温度特性的要求.