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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：东北大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 微机电工程. 机械电子工程
办公地点：西部校区机械学院新大楼6009房间
电子邮箱：duliqun@dlut.edu.cn
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聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2010-11-15
发表刊物：大连理工大学学报
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、EI、Scopus
卷号：50
期号：6
页面范围：907-911
ISSN号：1000-8608
关键字：超声时效;SU-8光刻胶;内应力测量
摘要：利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小聚合物SU-8胶层内应力方面的作用.对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层的内应力值.实验结果显示,在超声时效10 min时,聚合物SU-8胶内应力减小2 MPa,消除率约为23.17%.这表明,在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效减小聚合物SU-8胶内应力.