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液相电化学法在不锈钢上沉积类金刚石薄膜

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2007-10-25

Journal:材料热处理学报

Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:28

Issue:5

Page Number:120-123

ISSN No.:1009-6264

Key Words:电化学沉积;类金刚石碳(DLC)膜;力学性能;摩擦学性能

Abstract:采用直流脉冲电源,以甲醇有机溶液作为碳源,通过电化学沉积法在不锈钢表面制备了类金刚石碳(DLC)薄膜.用扫描电镜和拉曼光谱分析了薄膜的形貌和结构,用MTS纳米压痕仪测试DLC薄膜的硬度和Young's模量,在CERT微摩擦系统上测试了薄膜的摩擦学性能.结果表明:电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜的硬度较高(约7GPa),薄膜均匀、致密,表面粗糙度小;拉曼光谱在1332.51 cm-1处出现金刚石的特征峰;在室温干摩擦条件下,薄膜同WC钢球对摩时的摩擦系数随载荷增加而略微减小,抗磨性能则随着载荷的增加而变差,对摩时发生转移并形成转移膜,耐磨寿命缩短.

Pre One:热丝法低温制备多晶硅薄膜微结构的研究

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