Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2009-03-15

Journal: 材料研究与应用

Volume: 3

Issue: 1

Page Number: 19-22

ISSN: 1673-9981

Key Words: BCN薄膜;傅立叶变换红外光谱;射频磁控溅射

Abstract: 采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm-1和2200 cm-1处分别出现了C=N键和弱的C≡N键的特征吸收峰,表明沉积的薄膜组分当中,少量碳原子与氮原子结合.而分别溅射石墨和h-BN靶,红外光谱分析显示1100 cm-1处不是B-C键.说明采用射频磁控溅射方法得到的薄膜倾向于相分离.