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Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2009-03-15

Journal: 材料研究与应用

Volume: 3

Issue: 1

Page Number: 28-31

ISSN: 1673-9981

Key Words: 掺硼金刚石;热丝CVD;扫描电子显微镜;拉曼光谱

Abstract: 在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.