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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2009-03-15
Journal:材料研究与应用
Volume:3
Issue:1
Page Number:28-31
ISSN No.:1673-9981
Key Words:掺硼金刚石;热丝CVD;扫描电子显微镜;拉曼光谱
Abstract:在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜检测的结果表明,随着甲烷流量的增加,掺硼金刚石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸减小,晶界变得模糊,结晶性下降,非金刚石相增多,过高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的球状生长.
