自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2008-06-15
Journal: 发光学报
Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU
Volume: 29
Issue: 3
Page Number: 455-459
ISSN: 1000-7032
Key Words: 声表面波滤波器 金刚石 ZnO薄膜 磁控溅射
Abstract: 采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化.利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测.结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好.