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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2008-06-15
Journal:发光学报
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD
Volume:29
Issue:3
Page Number:455-459
ISSN No.:1000-7032
Key Words:声表面波滤波器 金刚石 ZnO薄膜 磁控溅射
Abstract:采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化.利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测.结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好.
