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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2009-08-17
Page Number:64-69
Key Words:聚合物光波导材料;微纳米压印;微环谐振器;聚合物波导
Abstract:在成功研发出一类具有低光学损耗、良好成膜特性和可热/光双固化的纯液态高性能聚合物光波导材料PSQ-Ls的基础上，对紫外微纳米压印工艺制备聚合物基集成光波导器件进行了实验研究，成功制备出聚合物波导微环谐振器。实验测试该器件直通端口和下载端口的消光比分别为6dB和18dB，品质因子Q值为4.2×104，从测得的谐振滤波光谱分析得出环形波导的散射损耗约为1.6dB/cm。研究结果表明，微纳米压印工艺是一种高效、低成本的聚合物基集成光子器件制备技术。
