Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2006-09-30

Journal: 真空科学与技术学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 26

Issue: 5

Page Number: 397-403

ISSN: 1672-7126

Key Words: 类金刚石膜;铜基体;过渡层;拉曼光谱(Raman);原子力显微镜(AFM);纳米压痕

Abstract: 将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备丽种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜.拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征.通过原子力显微镜对薄膜的微观形貌进行分析,采用纳米压痕测量薄膜的硬度和模量.并对Ti/TiC过渡层和Si/SixNy过渡层上沉积的类金刚石薄膜进行了研究对比.