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论文类型：期刊论文

发表时间：2006-07-01

发表刊物：物理学报

收录刊物：SCIE、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：55

期号：7

页面范围：3748-3755

ISSN号：1000-3290

关键字：铜基体;类金刚石膜;过渡层;拉曼光谱

摘要：将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构特征.检测结果表明,随着沉积偏压的增大,D峰和G峰均向高波数漂移,ID/IG值增大,表面粗糙度减小,而平均硬度和弹性模量呈先增大后减小的趋势.