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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-02-15

Journal:人工晶体学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:39

Issue:1

Page Number:67-71

ISSN No.:1000-985X

Key Words:KDP晶体;磨削;超声辅助加工;亚表面损伤;角度抛光

Abstract:通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导.损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中位裂纹为主,且裂纹间距具有一定的规律性;亚表面损伤深度为19～48 μm,磨头形状(有无倒角)较之磨头磨粒粒度对亚表面损伤深度具有更大的影响,使用有倒角的磨头可得最小亚表面损伤.