Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2010-02-15

Journal: 人工晶体学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 39

Issue: 1

Page Number: 67-71

ISSN: 1000-985X

Key Words: KDP晶体;磨削;超声辅助加工;亚表面损伤;角度抛光

Abstract: 通过采用角度抛光和逐层抛光法以及择优化学腐蚀,对基于超声辅助磨削的KDP晶体试件进行亚表面损伤形式观察以及损伤深度检测,以便为后续加工提供指导.损伤检测实验表明:在超声辅助磨削工艺条件下,亚表面损伤以与磨粒运动方向平行的中位裂纹为主,且裂纹间距具有一定的规律性;亚表面损伤深度为19～48 μm,磨头形状(有无倒角)较之磨头磨粒粒度对亚表面损伤深度具有更大的影响,使用有倒角的磨头可得最小亚表面损伤.