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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-02-15

Journal:人工晶体学报

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:39

Issue:1

Page Number:29-33,43

ISSN No.:1000-985X

Key Words:KDP晶体;无磨料抛光;材料去除;表面质量

Abstract:针对软脆易潮解KDP功能晶体材料的加工难点,提出了一种基于潮解原理的无磨料化学机械抛光新方法,研制了一种非水基无磨料抛光液,该抛光液结构为油包水型微乳液.通过控制抛光液中的含水量可以方便地控制KDP晶体静态蚀刻率和抛光过程中材料的去除率.实验中还研究了不同加工参数对晶体材料去除率和已加工表面质量的影响.该抛光液的设计为易潮解晶体的超精密抛光加工提供了一条新的技术途径.