Hits:

Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2005-01-01

Journal:中国机械工程

Included Journals:ISTIC、PKU

Volume:16

Issue:z1

Page Number:94-95

ISSN No.:1004-132X

Key Words:电化学;微流控芯片;剥离工艺

Abstract:研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.