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塑料电泳芯片热键合的试验研究

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2005-03-15

Journal:机械工程学报

Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:41

Issue:3

Page Number:185-188

ISSN No.:0577-6686

Key Words:电泳芯片;微流控芯片;生物芯片;微全分析系统;微机电系统;微细加工;热键合

Abstract:塑料电泳芯片具有绝缘性、透光性好、价格便宜、成型容易和批量生产成本低等优点,是一种新型微型分析装置.研究塑料电泳芯片热键合工艺过程和工艺参数,通过试验建立微通道变形与热键合温度、压力、时间和模压工艺参数的关系,由此提出减小微通道变形的方法,对于完善塑料电泳芯片结构设计和制作的基本理论和基本技术具有积极意义.

Pre One:集成铜电极的聚甲基丙烯酸甲脂电泳芯片的制作

Next One:集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究