温度处理对聚酰亚胺薄膜性能的影响研究
Release Time:2019-03-12 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2018-11-28
Journal: 机电工程技术
Volume: 47
Issue: 11
Page Number: 26-28,50
ISSN: 1009-9492
Key Words: 聚酰亚胺;温度处理;弹性模量;硬度;抗溶剂性能
Abstract: 将PW-1500S型、FB-5410型和ZKPI-520型三种不同的聚酰亚胺前驱体制备成聚酰亚胺薄膜,研究温度处理对不同型号聚酰亚胺薄膜的弹性模量、硬度、抗溶剂性能以及抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能的影响.实验表明:3种型号的聚酰亚胺薄膜经温度处理后,其弹性模量、硬度、抗溶剂性能和抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能没有明显变化.此外,溅射在PW-1500S型和ZKPI-520型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经温度处理后薄膜表面没有出现缺陷;而溅射在FB-5410型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经350℃保温30 min的温度处理后表面出现了微小缺陷.