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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2006-12-20
Journal:分析科学学报
Included Journals:ISTIC、CSCD
Volume:22
Issue:6
Page Number:671-674
ISSN No.:1006-6144
Key Words:玻璃微流控芯片;湿法刻蚀;热键合
Abstract:本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50 mm微流控芯片的方法.SG4009玻璃表面有厚度570 nm的光刻胶S-1085和厚度145 nm的Cr层组成的掩蔽层,省去制作掩蔽层的时间和设备,降低了生产成本,缩短了生产周期.对芯片制作过程中的一些问题进行分析研究,提出相应的解决方案,保证了芯片的制作质量.
