论文名称：金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究
论文类型：期刊论文
发表刊物：无机材料学报
收录刊物：Scopus、SCIE、EI、CSCD
卷号：32
期号：09
页面范围：1-5
ISSN号：1000-324X
关键字：金刚石线锯;多晶硅;制绒;反射率
摘要：晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方法效果进行了对比。研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准。
发表时间：2017-08-29