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Indexed by:会议论文

Date of Publication:2009-07-20

Page Number:1

Key Words:放电特性;辉光放电;电容耦合;激发温度;电负性气体;发射光谱分析;平板电极;强度测量;平板型;等效电路模型;

Abstract:在大气压下以氩气为载气通过射频(13.56 MHz)电容耦合的方式实现了辉光放电获得了均匀稳定的等离子体。我们针对匹配网络对双级联的平板型裸露电极中等离子体的激发方式,放电特征(电压,电流以及功率密度),以及模式(α模式和γ模式)转换的影响进行了研究;并应用发射光谱分析手段测量了等离子体气体的温度和电子激发温度随外加条件的变化规律,并应用等效电路模型估算了等离子体的密度。还有,应用光化线强度测量方法对当电负性气体(氧气)以相应的比例在氩等离子体中混合后所产生的氧原子的浓度随输入功率以及参杂比例的变化规律进行研究。