Associate Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Title : 仪器仪表学会传感器分会理事；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事；IEEE会员
Title of Paper:薄膜微量热计的信号采集与处理模块设计
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Date of Publication:2012-07-20
Journal:传感器与微系统
Included Journals:CSCD
Volume:31
Issue:7
Page Number:88-90,94
ISSN No.:1000-9787
Key Words:薄膜微量热计;信号采集模块;脉冲扫描量热;热容
Abstract:薄膜微量热计是测量亚微米厚度薄膜热动力学特性的重要手段,针对薄膜微量热计的脉冲扫描量热测试方法改进了系统的信号采集与分析模块.微量热计原始信号经高精度仪用放大电路后,由高速数据采集卡采集送入PC机；采用LabVIEW软件编写的控制程序并采用Matlab软件实现数据的分析处理.对加载了70 nm厚度In薄膜的微量热计进行热容测试,观测到了In薄膜的熔化峰和熔点,表明系统具有足够高的信噪比和检测灵敏度.
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