Title of Paper:复合薄膜热导率测试系统研究

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Date of Publication:2010-12-20

Journal:传感器与微系统

Included Journals:PKU、CSCD

Volume:29

Issue:12

Page Number:76-78,81

ISSN No.:1000-9787

Key Words:微机电系统;薄膜;悬臂梁;热导率测试系统

Abstract:针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统,设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统.该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成.软件编程在LabVIEW平台上实现.利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅薄膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率.在10-4Pa真空中,测得悬臂梁平均温度320～400K范围内的等效热导率在9～12w/(m·K),其热导率随着温度升高而增大,测试结果和理论值一致.实验表明:系统测试效率高、通用性好,且易于扩展.