Title of Paper:一种硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真

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Date of Publication:2014-10-01

Page Number:289-293

Key Words:气体传感器;硅微热板;应力调节系统;有限元仿真

Abstract:将微热板与平行板静电执行器结合,设计出一种能够保持温度恒定的同时,调节气敏薄膜(SnO2)应力的系统结构.采用有限元软件(COMSOL Multiphysics)仿真分析了不同温度下静电执行器的吸合现象、气敏薄膜中的应力分布及其调节范围。仿真结果表明，在静电执行器作用下薄膜中有的部位应力上升，有的部位下降,成功实现对气敏薄膜中应力分布的调节，该结构可用于应力对薄膜气敏特性影响的研究。