Associate Professor
Supervisor of Doctorate Candidates
Supervisor of Master's Candidates
Title : 仪器仪表学会传感器分会理事；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事；IEEE会员
Title of Paper:单片集成CMOS电阻真空传感器
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Date of Publication:2008-06-15
Journal:半导体学报
Included Journals:EI、CSCD
Volume:29
Issue:6
Page Number:1103-1107
ISSN No.:0253-4177
Key Words:电阻真空传感器;单片集成;CMOS;微热板
Abstract:设计了一种工作在恒电压模式的、微热板结构的单片集成电阻真空传感器芯片.提出了一种以CMOS集成电路中的介质层与钝化层为结构层、栅多晶硅为牺牲层、第二层多晶硅为加热电阻的微传感器单芯片集成工艺模式,制定了相应的工艺流程.采用0.6μm CMOS数模混合集成电路工艺,结合牺牲层腐蚀技术实现了单片集成真空传感器的加工,测试结果显示该芯片能够测量2～105Pa范围内的气压大小,且输出电压范围可调,验证了单片集成工艺的可行性.
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