Title of Paper:比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热

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Date of Publication:2016-12-22

Journal:电子器件

Included Journals:PKU、ISTIC

Volume:39

Issue:6

Page Number:1287-1291

ISSN No.:1005-9490

Key Words:微细尺度;自然对流换热;比较法;微热板

Abstract:微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同,采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的问题.利用标准CMOS工艺和简单的post-CMOS工艺制作出微热板(MHP)测试结构并实验测试,对测试方法的准确性进行了有限元仿真.结果表明:面积为43.5μm×43.5μm的水平氮化硅表面的自然对流的传热热导为2.63×10-5 W/K,由此计算出的自然对流系数高达1.39×104 W/(m2·K),远远高于常规尺度下空气自然对流系数.