Title of Paper:硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真

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Date of Publication:2015-12-15

Journal:仪表技术与传感器

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Issue:12

Page Number:4-7

ISSN No.:1002-1841

Key Words:静电执行器;微热板;有限元;SnO2 薄膜应力

Abstract:将微热板与静电梳齿执行器结合，设计出一种恒温加热状态下调节气敏薄膜（ SnO2）应力的系统结构。采用有限元软件（ COMSOL Multiphysics）仿真分析了不同温度下器件的形变、气敏薄膜中的应力分布及其调节范围。仿真结果表明，气敏薄膜中的应力随着静电梳齿执行器驱动电压的升高而下降，成功实现对气敏薄膜中应力分布的调节，该结构可用于应力对薄膜气敏特性影响的研究。