Title of Paper:一种新型MEMS器件中的近场辐射传热现象研究

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Date of Publication:2013-02-15

Journal:传感技术学报

Included Journals:Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:26

Issue:2

Page Number:170-174

ISSN No.:1004-1699

Key Words:MEMS;器件;近场辐射;传热

Abstract:以近场辐射传热方式利用光电器件中的热能制作热光电器件从而提高光电器件转换效率的思想已经被提出.基于该思想本文设计一种具有面对面平行悬空薄膜的新型MEMS器件,两悬空薄膜的间距为1μm.通过每个悬空薄膜中白金薄膜电阻,薄膜可以升温并同时测温.在存在近场辐射传热和不存在近场辐射传热两种情况下,加热下方的薄膜到相同温度需要不同的加热功率,通过实验测量这个功率差可以测量出薄膜间的近场辐射热功率,通过将实验数据与相同条件下黑体辐射传热功率比较,表明薄膜间存在近场辐射传热；并且,当上方薄膜温度为317.2 K时,通过近场辐射传热可以使下方薄膜的温度从293 K升高294.2 K,该温升为热电转换提供了条件.