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发布时间：2019-03-10

论文类型：期刊论文

发表时间：2010-12-20

发表刊物：传感器与微系统

收录刊物：CSCD、PKU

卷号：29

期号：12

页面范围：76-78,81

ISSN号：1000-9787

关键字：微机电系统;薄膜;悬臂梁;热导率测试系统

摘要：针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统,设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统.该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成.软件编程在LabVIEW平台上实现.利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅薄膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率.在10-4Pa真空中,测得悬臂梁平均温度320～400K范围内的等效热导率在9～12w/(m·K),其热导率随着温度升高而增大,测试结果和理论值一致.实验表明:系统测试效率高、通用性好,且易于扩展.