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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2011-03-15

Journal:微纳电子技术

Included Journals:PKU、ISTIC

Volume:48

Issue:3

Page Number:194-198

ISSN No.:1671-4776

Key Words:微装配;微纳流控芯片;对准;暗场照明;真空吸附

Abstract:针对微纳流控芯片等器件的对准装配问题,分析了具体操作要求,建立了一套包含显微光学观测单元、机械进给调整和器件吸取一放置等的微装配系统,采用暗场照明观测微纳结构,高精度移动平台精确调整基片与盖片之间的角度与位置,利用真空吸附的方法抓取和释放.采用该系统成功地制造了多种可用的微纳流控芯片,以玻璃微纳流控芯片的对准装配为示范开展了实验研究,对准结果表明,该系统能够完成宽53 μm,深18μm的微通道与宽3 μm,深50～260 nm的纳通道的对准连接任务.采用本系统进行芯片对准装配的方法具有仪器成本低、使用灵活和易于互换的优点,适合实验室及小批量生产使用.