Current position: Home >> Scientific Research >> Patents

一种用于薄膜微流控芯片键合的PDMS基片底座制作方法

Release Time:2022-10-19  Hits:

First Author: 刘军山

Disigner of the Invention: wangzhong,宋满仓,刘哲,徐征,李经民,Chong Liu

Institution: 机械工程学院

Application Number: CN108080044A

Authorization Number: CN201711439170.X

Prev One:一种基于聚酰亚胺的柔性静电驱动MEMS继电器的制造方法

Next One:一种组合工作台