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论文类型：期刊论文

发表时间：2012-09-15

发表刊物：纳米技术与精密工程

收录刊物：Scopus、EI、ISTIC、CSCD

卷号：10

期号：5

页面范围：469-473

ISSN号：1672-6030

关键字：MEMS;光学扫描;微镜;体硅工艺;压电陶瓷;微装配

摘要：为实现高速大角度光学扫描,研制了一种新型压电陶瓷驱动MEMS光学扫描镜.将两块压电陶瓷分别放置在扫描镜背面两侧作为驱动,通过简单的扭转梁结构把两块压电陶瓷沿相反方向上下振动转换成镜片的扭转振动.采用MEMS体硅工艺及微装配技术,制备出器件样品.经测试,大气压下,研制出的扫描镜扫描谐振频率可达21.9 kHz,施加200 V交流电,谐振态的光学扫描角度为21.8°.测试数据表明该器件适用于激光打印、条形码扫描及微型激光投影显示等领域.