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论文类型：会议论文

发表时间：2012-09-13

页面范围：115-119

关键字：单层TaN薄膜;Ta/TaN多层薄膜;调制周期;力学性能

摘要：　　单层TaN薄膜及由柔性Ta及硬TaN层组成的多层Ta/TaN薄膜通过ECR增强直流磁控溅射在不锈钢基体上制备,所有的TaN及Ta/TaN薄膜均制备200 min.薄膜厚度及薄膜的截面形貌通过扫描电镜观测,化学结构通过XRD测试,硬度,模量,塑性及结合力分别通过纳米压痕及划痕实验进行测定.结果表明,TaN择优取向为六方010),(300),Ta层为010),(300).单层TaN展现最高硬度,接近40GPa,但结合力较低.5周期的多层薄膜呈现了较高的硬度,最好的塑性及结合力.证明合适的调制周期及层数可以有效地提高薄膜的力学性能,包括硬度,塑性及结合力.