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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2014-04-20
Journal:电加工与模具
Included Journals:ISTIC
Issue:2
Page Number:51-54
ISSN No.:1009-279X
Key Words:微细超声波加工;脆塑转变;表面粗糙度
Abstract:已有文献表明，通过适当调整加工参数，可对单晶硅<100>面进行微细超声波塑性加工，大大提高加工材料的表面质量。但传统判别脆塑性去除模式的方法主要是基于主观观测，并没有一个客观评价标准。通过研究发现，表面粗糙度R pk可作为判别微细超声波加工单晶硅<100>面材料去除模式的客观评判标准，并通过实验得到了验证。
