Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2014-04-20

Journal: 电加工与模具

Included Journals: ISTIC

Issue: 2

Page Number: 51-54

ISSN: 1009-279X

Key Words: 微细超声波加工;脆塑转变;表面粗糙度

Abstract: 已有文献表明，通过适当调整加工参数，可对单晶硅<100>面进行微细超声波塑性加工，大大提高加工材料的表面质量。但传统判别脆塑性去除模式的方法主要是基于主观观测，并没有一个客观评价标准。通过研究发现，表面粗糙度R pk可作为判别微细超声波加工单晶硅<100>面材料去除模式的客观评判标准，并通过实验得到了验证。