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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2014-11-20

Journal:中国机械工程

Included Journals:Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:25

Issue:22

Page Number:3008-3011

ISSN No.:1004-132X

Key Words:碲锌镉;固结磨料;绿色环保抛光液;化学机械抛光

Abstract:针对软脆碲锌镉晶片的传统加工工艺“游离磨料－抛光－化学机械抛光”存在的缺点，提出“固结磨料研磨－新型绿色环保抛光液化学机械抛光”新方法。固结磨料研磨工艺为：采用3000号刚玉防水砂纸，压力为17 kPa ，抛光盘与抛光垫转速均为80 r／min ，研磨时间为5 min 。新型绿色环保抛光液含有双氧水和硅溶胶，采用天然桔子汁作为 pH 值调节剂。化学机械抛光工艺为：采用自行研制的化学机械抛光液，绒毛抛光垫，抛光压力为28 kPa ，抛光盘与抛光垫转速均为60 r／min ，抛光时间为30 min 。试验结果表明，经过上述加工可获得超光滑的表面，表面粗糙度算术平均值、均方根值、峰谷值分别可以达到0.568 nm 、0.724 nm 、6.061 nm 。