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多晶硅发射极晶体管的数值分析及模拟

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:1993-01-01

Journal:大连理工大学学报

Included Journals:PKU、CSCD

Volume:33

Issue:4

Page Number:482

ISSN No.:1000-8608

Key Words:多晶硅;界面层;多晶硅发射极晶体管

Abstract:通过对多晶硅发射极晶体管(PET)的多晶硅及界面层导电特性的分析, 得到单晶发射区边界上电流密度与少子浓度之间的关系式,并以此为自洽的 边界条件,在单晶区数值求解一组描述晶体管电学特性的微分方程,得到晶 体管内部电势分布和载流子分布以及PET的端电流特性.

Pre One:纳米硅薄膜表面形貌分形特征的STM研究

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