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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2013-10-15
Journal:物理与工程
Volume:23
Issue:5
Page Number:42-44,50
ISSN No.:1009-7104
Key Words:椭偏仪;载物台;等幅椭圆偏振光;光接收器
Abstract:介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整简单易调,测量精度得到提高.
