椭偏法测量薄膜参数的实验改进
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Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2013-10-15
Journal: 物理与工程
Volume: 23
Issue: 5
Page Number: 42-44,50
ISSN: 1009-7104
Key Words: 椭偏仪;载物台;等幅椭圆偏振光;光接收器
Abstract: 介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整简单易调,测量精度得到提高.