基于激光诱导击穿光谱的真空灭弧室真空度在线检测实验研究

Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2017-01-01

Journal: 高压电器

Included Journals: CSCD、Scopus

Volume: 53

Issue: 3

Page Number: 230-234

ISSN: 1001-1609

Key Words: 真空度; 在线检测; 激光诱导击穿光谱; 主成分; 神经网络

Abstract: 真空断路器真空度在线检测经历了半个多世纪的研究,现在仍没有很好的技术投入到实际应用。文中釆用激光诱导击穿光谱技术(LIBS),在实验室条件下初步
   研究了10~(-3) Pa至10~5
   Pa气压下真空灭弧室屏蔽罩铜材料及周围气体元素元素的LIBS信号,得到了不同真空度下谱线强度随真空度的变化规律。进而通过主成分分析(PCA)和人
   工神经网络(ANN)算法对多种元素的谱线强度进行分析,获得了主成分因子在相空间的分布和神经网络预测结果。分析结果表明10~(-3)
   Pa至10~5
   Pa这10个气压等级下的LIBS信号在PCA相空间中呈现良好的分类聚集,神经网络预测结果准确率达到96.67%。笔者提出了一种真空度在线检测的新
   方法,克服了传统方法抗电磁干扰能力差、检测限低的难题,具有良好的应用前景。

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