磁控溅射制备氮化钽导电薄膜及其性能研究
Release Time:2024-07-17 Hits:
Date of Publication: 2022-10-06
Journal: 电子元件与材料
Institution: 机械工程学院
Volume: 37
Issue: 8
Page Number: 36-39
ISSN: 1001-2028
Note: 新增回溯数据
Release Time:2024-07-17 Hits:
Date of Publication: 2022-10-06
Journal: 电子元件与材料
Institution: 机械工程学院
Volume: 37
Issue: 8
Page Number: 36-39
ISSN: 1001-2028
Note: 新增回溯数据