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磁控溅射制备氮化钽导电薄膜及其性能研究

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Date of Publication:2022-10-06

Journal:电子元件与材料

Affiliation of Author(s):机械工程学院

Volume:37

Issue:8

Page Number:36-39

ISSN No.:1001-2028

Note:新增回溯数据

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