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一种导轨直线度与平行度测量系统的研究与应用

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2018-10-28

Journal:现代机械

Issue:5

Page Number:20-24

ISSN No.:1002-6886

Key Words:直线度;平行度;测量;调整

Abstract:导轨直线度与平行度的测量通常采用接触式扫描法和光学测量法,这些方法通常需要高精度的直线度物理基准和激光干涉仪等昂贵仪器使得测量成本大大提高.为克服上述缺点,提出了一套基于四象限光电探测器(简称四象限)结合双轴水平仪实现导轨直线度与平行度测量的测量系统.通过标定实验,比对实验和稳定性实验证明了该测量系统的准确性和稳定性.利用该测量系统对导轨进行测量调整后,基准轨水平与竖直两个方向的直线度误差分别从150 μm和120 μm降低至42 μm和36μm,测量轨与基准轨在水平与竖直两个方向的平行度误差也分别从327 μm和524μm降低至45 μm和51 μm.

Pre One:Development of a Compact Three-Degree-of-Freedom Laser Measurement System with Self-Wavelength Correction for Displacement Feedback of a Nanopositioning Stage

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