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精密微小组件压装技术及仪器

Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2015-06-15

Journal: 光学精密工程

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 23

Issue: 6

Page Number: 1605-1611

ISSN: 1004-924X

Key Words: 微小组件;过盈联接;压装仪器;零件对准

Abstract: 根据一种过盈联接精密微小组件的装配要求,研制了一套精密微小组件自动压装仪器.通过分析压装过程中压装力与系统弹性变形的变化关系,对组件的压装位移进行了有效补偿.采用具有上下视野的机器视觉装置测量压装组件的相对位置,并采用XY位移平台对组件进行精确对准.提出了对具有上下视野的机器视觉装置的标定方法;分析了组件压装力与压装位移的关系,得出了压装力-位移曲线的预测值.对随机抽取的5套零件进行了装配实验,结果表明:对组件进行精密对准后,组件压装位移-压装力曲线符合预测值;组件装配后相对位置的距离偏差小于±5 μm,垂直度偏差小于10 μm.实验表明组件装配精度达到了设计指标要求.

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