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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 测试计量技术及仪器. 精密仪器及机械
办公地点：机械工程学院6120室
联系方式：欢迎报考研究生电话咨询 1 3 3 3 2 2 7 9 9 2 6
电子邮箱：louzf@dlut.edu.cn
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玻璃微流控芯片的制作
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论文类型：期刊论文
发表时间：2004-03-30
发表刊物：纳米技术与精密工程
卷号：2
期号：1
页面范围：20-23
ISSN号：1672-6030
关键字：微流控芯片;湿法腐蚀;热键合
摘要：玻璃微流控芯片的研究在近十年得到了重视,但是多数研究基于7740玻璃制作,由于基材需要抛光以及涂覆掩蔽层,价格昂贵.作者研究了一种在商品化的SODA-LIME玻璃(掩蔽层为厚度145±15 nm的Cr和575±25 nm的光刻胶S108)上制作微流控芯片的方法,减少了对掩蔽层溅射设备的需求,降低了生产成本并缩短了生产周期.采用照相制版的方法制作沟道宽度为50 μm的掩模;光刻后根据沟道深度要求选择腐蚀液湿法腐蚀沟道;优化超声钻孔仪的电流参数制作直径3 mm的储液池,清洗后采用热键合对芯片进行封接;最后在有效分离长度为35 mm的芯片上实现多组分样品分离,采用激光诱导荧光获得检测信息.