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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化. 机械电子工程. 测试计量技术及仪器. 精密仪器及机械
办公地点：机械工程学院6120室
联系方式：欢迎报考研究生电话咨询 1 3 3 3 2 2 7 9 9 2 6
电子邮箱：louzf@dlut.edu.cn
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电沉积技术制作高聚物微流控芯片模具
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论文类型：期刊论文
发表时间：2005-06-10
发表刊物：电化学
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
卷号：11
期号：2
页面范围：204-207
ISSN号：1006-3471
关键字：电沉积;光刻;结合力
摘要：利用电沉积技术制作微流控芯片金属模具,方法是:使用新型超厚光刻胶SU-8胶作近紫外光刻,并在光刻后的图案上电沉积金属Ni,之后去胶,最终获得金属模具.该法减小了电沉积工作量.采用反向电流预处理基底、并适当增加电铸液的添加剂以及脱模后真空退火,即可明显提高电沉积微结构与基底的结合力.用此金属模具成功热压了PMMA,制成了微流控芯片.